Плазма процессоры — плазма ишлемеси ичюн къулланылгъан алеттир. Онынъ къурулышы ашагъыдаки эсас компонентлерден ибарет:
Сыгъдырув камера: Ашырылыкъ камерасы плазма процессорынынъ эсас компонентидир. О, газ чыкъарувларына себеп олмакъ ичюн, АС кергинлигининъ юксек я да радиочастоталы электрик мейданларындан файдалана, ве бунынънен плазма мейдангъа кетире. Чыкъарув камерасы, адет узьре, керамика я да джам киби изоляция материалларындан япыла.
Ишчи одасы: Ишчи одасы — материалларны ишлемек ичюн биринджи ердир. Чешит ишлев тесирлери чешит газ, басым ве кучь параметрлерини идаре этмек ёлунен ирише. Ишчи одасы, адет узьре, маден я да керамик киби вакуумлы муурлев хусусиетлери олгъан материаллардан япыла.
Эвакуация системасы: ишлев вакътында вакуум муитини яратмакъ ичюн, ишчи камерадан газны чыкъармакъ ичюн вакуум системасы къулланыла. Вакуум системасы, адет узьре, вакуум насос ве онен багълы идаре этюв системасындан ибарет.
High- частота къувети: юксек- частоталы кучь ярдымынен плазма процессорына энергия бериле, газны ионлаштырып, плазма мейдангъа кетире, бу исе юксек- частоталы электрик мейданчыгъы вастасынен плазма мейдангъа кетире. Юксек- частота электрик энергиясы, адет узьре, электрон компонентлерден ве онен багълы идаре системаларындан ибарет.
Автоматик идаре системасы: автоматик идаре системасы плазма ишлевининъ бутюн джерьяныны, шу джумледен параметрлерни ерлештирюв, ишлев вакътыны идаре этмек ве вакуум севиесининъ мониторингини идаре эте. Автоматик идаре системасы, адет узьре, компьютер ве онен багълы идаре программаларындан ибарет.
Бундан гъайры, плазма ишлетиджилери чыкъарув одасына керекли газларны темин этмек ичюн газ еткизюв системасынен донатылгъан. Бу система, адет узьре, газ цилиндринден, басым регуляторындан, акъынты контроллеринден ве дигер компонентлерден ибарет.
Умумен, плазма процессорынынъ къурулышына чыкъарув камерасы, ишчи камера, вакуум системасы, юксек- частота электрик энергиясы ве автоматик идаре системасы кире. Бу компонентлернинъ координациялы чалышмасы плазма процессорына материал юзюнде чешит физик ве химиявий реакцияларны къозгъамагъа имкян бере, ве бунынънен истеген тедавийлевге ирише.